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徐科
江苏第三代半导体研究院院长、中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所副所长、研究员

徐科,研究员、博士生导师,国家杰出青年基金获得者。19881995年就读于西安交通大学,获硕士学位,1998年于中科院上海光学精密机械研究所获博士学位。19992002年在日本千叶大学光电子研究中心做博士后,20022004年在日本科学技术振兴事业团,参加超高速省电力高性能纳米器件/系统研发项目,20042006年任教于北京大学,2006年起加入中科院苏州纳米所,任测试分析平台主任。曾荣获2007苏州工业园区首届科技领军人才称号、2008首届姑苏创新创业人才江苏省双创人才称号、2010年荣获第十三届中国科协求是杰出青年奖2011年苏州市市长奖,2012年荣获全国产学研合作创新成果奖、中国科学院国际合作青年科学家奖,2013年获得国家杰出青年基金资助,2013年苏州市魅力科技人物。现任“863”计划新材料领域主题专家、国家纳米标准委员会委员。

一直围绕高质量氮化物半导体材料生长、相关材料与器件物理开展研究。开展了多种与GaN晶格匹配的单晶体生长,在LiAlO2(100)衬底上用MOCVD方法首次外延生长出非极性mGaN;系统研究了GaNMOCVDMBE生长机理,氮化物的极性选择、极性控制,阐明了极性对氮化铟(InN)生长的特殊影响,是国际上最早发现InN窄带隙的研究者之一;近年来重点开展氮化物的氢化物气相外延(HVPE)生长研究、极低缺陷密度氮化物材料的物性研究,研发出可以连续稳定生产GaN单晶衬底的HVPE系统,开发出高质量完整2英寸单晶氮化镓衬底,并实现批量生产;组织开展纳米尺度空间分辨的综合光电测试技术与装备研制、微纳尺度原位加工与测试技术的融合,并用于半导体中单个缺陷和低维结构的新奇物性研究。发表SCI论文70余篇,申请专利40余项,国际专利一项,国际会议特邀报告20余次。承担了国家自然科学基金、973重大研究计划、863项目、科技部国际合作项目、中科院装备研制项目、江苏省重大科技成果转化专项、发改委战略新兴产业化示范项目等。

研究领域:(1)III族氮化物材料的生长与材料物理,HVPE法、助熔剂法和氨热法,极低缺陷密度材料的制备及物性研究;(2)宽禁带半导体与超薄二维体系的异质结构,表面、界面与限域体系中的物性研究;(3)纳米测试分析理论与装备技术,空间高分辨的多参量综合测试技术与装备。